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该方案的检测方法与经典的星点法、哈特曼法等以及干涉法相比较，原理新颖，也不需任何外部信标或标准大平面反射镜提供工作参考基准。
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3、
激光束照射到表面被粘污的反射镜上会产生干涉环,入射光束和反射光束在被粘污表面产生散射光干涉.
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4、
在光源系统中采用球面聚光镜和平面反射镜，可大幅提高光源的利用率。
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得到由凹面镜和平面镜反射回来的光斑直径分别为4.8mm和5.1mm，平凹腔的角度对准精度达到了3.18′。
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7、
同时，本文提出的基于平面镜成像原理的玻璃厚度测量技术进一步克服了玻璃表面疵斑对测量结果的影响。
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8、
计算结果表明，平面镜或凹面镜倾斜角度在10〃以内，TEM30和TEM03及以下的低阶模式的平均单程损耗小于1%。
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9、
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